溫濕度檢測所用儀表有小量程溫度自動記錄儀，水銀溫度計，氯化鋰濕度計，通風干、濕球溫度計。應根據(jù)溫度及相對濕度波動范圍，選擇相應精度的儀表進行測定。
1、檢測方法
（1）測點應布置在恒溫工作區(qū)具有代表性的地點。
（2）若沒有恒溫要求，可在潔凈室中心布點。
（3）測點距外墻表面一般應大于0.5m，距地面0.8m。也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在距地面不同高度的幾個平面上。
（4）根據(jù)溫、濕度波動范圍的要求，檢測宜連續(xù)進行8～48h，每次讀數(shù)間隔不應大于30min。
（5）對有溫、濕度波動要求的區(qū)域，測點應布置在送、回風口處或具有代表性的地點。
（6）測點數(shù)量及儀器按下表確定：

注意：Δt是指溫度，ΔRH是指相對濕度。
2、合格標準
室溫波動范圍按各測點的各次溫度中偏差控制溫度的大值整理成累計統(tǒng)計曲線。若90%以上測點偏差值在室溫控制范圍內(nèi)，為符合設計要求，反之為不符合。
相對濕度被動范圍可按室溫波動范圍的規(guī)定執(zhí)行。