1、管路系統(tǒng)的試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)包括管路吹掃、氣密性、泄漏性試驗(yàn)和純度測(cè)試。
2、高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施安裝前，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說明書或合約的要求，檢查設(shè)備（包括填充的純化材料等）、閥門和管件的完整性、密封性，并作檢查記錄。
3、純化設(shè)備、特氣柜的搬運(yùn)、就位應(yīng)符合下列規(guī)定：
（1） 搬入潔凈室（區(qū)）前，應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的清潔，符合要求后從規(guī)定的設(shè)備搬入口運(yùn)入；
（2） 整體設(shè)備搬運(yùn)時(shí)，應(yīng)按設(shè)備的構(gòu)造、管道及閥門等附件的配置狀況安全運(yùn)輸，不得倒置，并可靠固定；
（3）設(shè)備就位時(shí)，應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件和產(chǎn)品說明書要求，準(zhǔn)確做好接管、接線定位；
（4）就位后，水、電接口應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求連接；
（5）氣體管道接口，應(yīng)在分系統(tǒng)的氣體輸送管道安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后才能連接。
4、高純氣體、特種氣體系統(tǒng)的閥門箱、吹掃盤的安裝，應(yīng)符合下列要求：
（1）檢查箱體及箱內(nèi)閥門、儀表和附件的完整性、密封性和合格證書等，并作好記錄；
（2）安裝位置應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件、產(chǎn)品說明書要求進(jìn)行，并檢查接管、接線方位的正確性；
（3）氣體管道接口，應(yīng)在所在系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后才能連接。
5、高純氣體、特種氣體設(shè)施施工安裝試運(yùn)轉(zhuǎn)的純度測(cè)試，應(yīng)符合下列要求：
（1）純度測(cè)試介質(zhì)，宜采用工作氣體進(jìn)行；
（2）測(cè)試氣體的壓力，宜與輸送介質(zhì)的設(shè)計(jì)壓力相同；
（3）測(cè)試氣體的檢測(cè)取樣口或排氣接口，應(yīng)設(shè)在供氣系統(tǒng)中要求氣體純度及其雜質(zhì)含量zui嚴(yán)格且距離zui長(zhǎng)的用氣設(shè)備處；
（4）純度測(cè)試過程，取樣時(shí)間的間隔宜為4h左右；氣體樣品應(yīng)采用與輸送介質(zhì)純度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的精度等級(jí)的儀器進(jìn)行分析；
（5）當(dāng)測(cè)試氣體的進(jìn)、出口的純度及其雜質(zhì)含量（一般以氧痕量濃度、水痕量濃度為代表）一致時(shí)，即認(rèn)為純度測(cè)試合格。
6、管路系統(tǒng)的試驗(yàn)應(yīng)符合下列要求：
（1）高純氣體、特種氣體供應(yīng)設(shè)施的強(qiáng)度試驗(yàn)、氣密性試驗(yàn)和泄漏量試驗(yàn)及試驗(yàn)壓力，均應(yīng)按工程設(shè)計(jì)文件要求；
（2）試驗(yàn)氣體宜采用無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮或氦氣；試驗(yàn)氣體壓力按規(guī)定逐步升至系統(tǒng)強(qiáng)度試驗(yàn)壓力后，保持10min，然后降壓至氣密性試驗(yàn)壓力，檢查接口、焊縫是否泄漏，以不漏為合格；
（3）氣密性試驗(yàn)合格后，進(jìn)行泄漏量試驗(yàn)，試驗(yàn)氣體為純氮或無(wú)油干燥壓縮空氣時(shí)，系統(tǒng)以設(shè)計(jì)壓力保持24h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。采用氦氣為試驗(yàn)氣體時(shí)，系統(tǒng)以設(shè)計(jì)壓力保持1h，檢查泄漏率不超過0.5％為合格。若不合格，檢查原因并進(jìn)行完善后，再進(jìn)行泄漏量試驗(yàn)，直至合格為止；
（4）管路系統(tǒng)的試驗(yàn)，一般均不包含純化設(shè)備、特氣柜和閥門箱等。
7、管路吹掃應(yīng)符合下列要求：
（1）應(yīng)按氣體品種、工作參數(shù)分系統(tǒng)分別進(jìn)行吹掃；
（2）管路系統(tǒng)應(yīng)采用0.3.0.5MPa的無(wú)油干燥壓縮空氣或純氮進(jìn)行吹掃，吹掃氣體應(yīng)設(shè)置過濾精度嚴(yán)于0.31tm氣體過濾器去除微粒；對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路宜采用純氮吹掃；
（3）在管路系統(tǒng)吹掃氣體排出口設(shè)靶檢查，以靶上未見微粒為合格；對(duì)輸送可燃?xì)怏w的管路系統(tǒng)，應(yīng)以排出口吹掃氣體中含氧量小于1％為合格。