潔凈室或其它受控環(huán)境對內(nèi)圍護(hù)結(jié)構(gòu)材質(zhì)的物理、化學(xué)穩(wěn)定性要求較高。相應(yīng)而來的問題是地面面層雖光潔、柔韌、耐磨，但導(dǎo)電性能是否符合要求，會不會聚集靜電圍護(hù)結(jié)構(gòu)面層。特別是地面靜電聚集、其危害是多方面的，包括損壞電子設(shè)備、儀器、擊傷人體、導(dǎo)致火災(zāi)、爆炸等，對于電子工業(yè)尤為嚴(yán)重。國家標(biāo)準(zhǔn)GB 50073-2001規(guī)定，地面面層應(yīng)采用靜電耗散型材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0*10⁵～1.0*10¹²Ω或體積電阻率為1.0*10⁴～1.0*10¹¹Ω.cm。地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻值應(yīng)為1.0*10⁵～1.0*10⁹Ω。有關(guān)防靜電系統(tǒng)測試方面的要求，可參考國內(nèi)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10694《電子產(chǎn)品和制造防靜電系統(tǒng)測試方法》。
國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JGJ 71-90《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》對地面、墻面及工作臺面的導(dǎo)靜電性能，推薦采用符合精度要求的高阻計，在被測表面上選定代表區(qū)域的兩點(diǎn)間，按下圖所示方法進(jìn)行測試。


ISO 14644-3對靜電測試相關(guān)儀器給出了以下技術(shù)要求：
1、靜電電壓計
靜電電壓計用以測量ɑ區(qū)域內(nèi)的平均電壓或電位，對其技術(shù)要求如下表所列。
對精密電壓計的測量技術(shù)要求：
   

對手動式靜電電壓計或靜電場強(qiáng)計的測量技術(shù)要求：


2、高電阻歐姆表
高電阻歐姆表用以測量絕緣材料和部件的電阻，其方法是探測從一施加高壓的部位到被測部位的漏電電阻，對其技術(shù)要求及附加技術(shù)要求如下表所列。
高電阻歐姆表的測量技術(shù)要求：


高電阻歐姆表的測量附加技術(shù)要求：

3、充電板檢測儀
充電板檢測儀用以測量電離器或離子化裝置的中和特性。測試的目的是評估雙極離子生成器的性能，測試內(nèi)容通常包括兩個方面：
（1）測量放電時間，用以計算離子生成器消除靜電荷的效率；
（2）測量補(bǔ)償電壓，用以評估在離子生成器生成的離子化氣流中正負(fù)離子的不穩(wěn)定性。離子的不穩(wěn)定會造成不利的殘余電壓。